退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法.pdf

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本发明公开一种退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法。其中一实施例的退火装置，应用于准分子激光退火设备，所述退火装置包括：承载台，用于承载和移动待加工的显示基板，所述承载台包括具有长边和短边的载物台；设置在所述载物台上方的具有腔体的退火室，所述退火室包括靠近所述载物台一侧的底壁和与所述底壁相对设置的远离所述载物台一侧的顶壁，所述底壁上设置有狭缝，所述狭缝在所述载物台的正投影的延伸方向平行于所述长边；设置在所述顶壁远离所述腔体一侧的光学镜组，用于传输激光发射器出射的激光光束；以及设置在所

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116790851 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310737765.2 H01L 21/67 (2006.01)