一种炉门组件和管式炉.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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本实用新型公开了一种炉门组件和管式炉，所述炉门组件包括第一摆杆、炉门和驱动件，管式炉包括炉管和炉架，所述第一摆杆绕沿所述管式炉的高度方向延伸的第一轴线可摆动地与炉架相连，所述炉门与所述第一摆杆相连，所述第一摆杆能够带动所述炉门在开启状态和关闭状态之间切换，在所述开启状态，所述炉门与所述炉管的管口分离，以便推舟装置将载片舟推送至所述炉管内，在所述关闭状态，所述炉门与所述炉管的管口密封配合，以封闭所述炉管，所述驱动件设于所述炉架上并与所述第一摆杆相连，以驱动所述第一摆杆摆动。本实用新型实施例的炉门组

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219735988 U (45)授权公告日 2023.09.22 (21)申请号 202223600602.X (22)申请日 2022.12.30 (73)专利权人浙江求是半导体设备有限公司地址