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一种MEMS可调法珀腔芯片阵列、光谱传感器及光谱仪.pdfVIP

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  • 2023-09-23 发布于四川
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一种MEMS可调法珀腔芯片阵列、光谱传感器及光谱仪.pdf

    本实用新型公开了一种MEMS可调法珀腔芯片阵列、光谱传感器及光谱仪，其中MEMS可调法珀腔芯片阵列包括阵列MEMS可调法珀腔芯片、开关控制器、阵列光电探测器；阵列MEMS可调法珀腔芯片中包括至少两颗子MEMS可调法珀腔芯片，各子MEMS可调法珀腔芯片的正极和/或负极相互独立；阵列光电探测器中包括至少两颗子光电探测器，各子光电探测器的正极和/或负极相互独立；空间上阵列光电探测器位于阵列MEMS可调法珀腔芯片的出关侧；子光电探测器与子MEMS可调法珀腔芯片数量相同且一一对应；开关控制器控制各子MEM

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219736570 U (45)授权公告日 2023.09.22 (21)申请号 202321099021.4 (22)申请日 2023.05.09 (73)专利权人 四川启睿克科技有限公司 地址

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