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一种自动提动装置.pdfVIP

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  • 2023-09-24 发布于四川
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一种自动提动装置.pdf

    本实用新型公开了一种自动提动装置，涉及半导体晶圆加工领域，针对现有手动操作的方式对于作业员的依赖性大，作业员操作的力度、幅度等因素均依赖于作业员的人为控制，质量稳定性、一致性差的问题，现提出如下方案，包括往返气缸，所述往返气缸上固定连接有两个气管，所述气管远离往返气缸的一端固定连接有电磁阀，所述电磁阀上连接有气缸控制器，所述气缸控制器上连接有计时器，所述往返气缸的顶部设有推拉杆，所述推拉杆远离往返气缸的一端固定连接有吊杆。本实用新型结构简单，成本低，维修方便，可调的提动频率和时间满足清洗、腐蚀和

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210516693 U (45)授权公告日 2020.05.12 (21)申请号 20192

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