原创力文档- 5
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- 2023-09-24 发布于四川
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一种基板烘烤设备，包含机台本体、多个上冲孔板、过滤装置、移载装置及进气加热系统。机台本体界定出烘烤空间、过滤空间及上维修口，并具有两个分别位于烘烤空间两侧的上侧架。每个上侧架的第一承载壁具有第一安装部及位于第一安装部相对内侧的第一承载部。上冲孔板可分离地设置于两个第一承载壁的第一承载部。过滤装置设置于过滤空间，并包括两个分别设置于第一承载壁的第一安装部的支架，及连接于支架且间隔位于上冲孔板上方的过滤器本体。上冲孔板可在不移除过滤装置或移载装置的情况下经由上维修口取出或放入。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210519072 U
(45)授权公告日
2020.05.12
(21)申请号 20192
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