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本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置，波导组件包括波导本体，波导本体用于布置在调配器和模式转换器之间以传导微波；波导本体的外侧壁上开设有冷却液槽，冷却液槽上密封安装有槽盖板以形成冷却液腔，波导组件还包括与冷却液腔连通的冷却液进口和冷却液出口，通过在冷却液腔内注入冷却液以对波导本体进行冷却。温度较低的波导本体可以通过热传递的方式对调配器进行降温，确保调配器保持较高的工作性能，同时也就使得使用该波导组件的微波等离子体化学气相沉积装置保持较
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210529058 U
(45)授权公告日
2020.05.15
(21)申请号 20192
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