一种蒸发源挡板.pdfVIP

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2023-09-25 发布于四川
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一种蒸发源挡板.pdf

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本实用新型涉及高真空设备技术领域，特别涉及一种蒸发源挡板。所述一种蒸发源挡板，包括：载台、挡板、压力传感器、磁感应开关和金属片；第一挡板部与载台相向设置，第三挡板部与载台相向设置；金属片分别设置于第一挡板部与载台相对应的下端、及第三挡板部与载台相对应的下端；磁感应开关设置于载台上；金属片与磁感应开关相向设置；压力传感器设置于载台上，压力传感器设置于磁感应开关两侧。通过该装置当挡板发生形变或没有摆放到正确的位置时，压力传感器就会感应到压力，侦测到异常，随后发出警报，告知操作人员发生错误，节省人力，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210529037 U (45)授权公告日 2020.05.15 (21)申请号 20192