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2023-09-25 发布于四川
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小型静态退火炉.pdf

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本申请揭示了一种小型静态退火炉，属于电池片加工领域，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；托盘在炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；测温装置设置在炉体框架内部，实时监测炉体内的温度；炉体冷却装置设置在炉体框架内部，用于对炉体进行降温；电源装置为光照装置提供恒定电流的电源；光照装置设置在位于炉体内的托盘的上方，用于以预定波长的光照射托盘上的硅片；加热装置设置在炉体内，用于对托盘上的硅片加热。本申请将加热与光照退火集成为一体，省去了自

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210529109 U (45)授权公告日 2020.05.15 (21)申请号 20192