一种外延炉上料斗的防堵机构.pdfVIP

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2023-09-25 发布于四川
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一种外延炉上料斗的防堵机构.pdf

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本实用新型公开了一种外延炉上料斗的防堵机构，包括外延炉本体，外延炉本体顶部的右侧连通有进料斗，外延炉本体的顶部且位于进料斗的两侧均固定连接有传动箱。本实用新型通过转盘旋转带动连接柱旋转，连接柱旋转带动翘杆旋转的同时配合连接柱的位置完成上下运动，翘杆上下移动带动定位柱和固定柱上下移动，定位柱和固定柱上下移动带动连接块和活动杆上下移动，活动杆上下移动带动拨板上下移动，拨板上下移动对进料斗内部的原材料进行疏通，解决了现有的防堵机构大多通过人工进行疏通，导致加工效率慢，而且容易损坏半导体的问题，减少了使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210527396 U (45)授权公告日 2020.05.15 (21)申请号 20192