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本实用新型提供了用于电感探针的非线性补偿装置，其包括：第一厚度减薄值模块，其用于依据第一预设值以及测量试片与补偿试片的电压差分比，计算得到未进行补偿时测量试片的第一厚度减薄值；实时厚度模块，其用于依据第一厚度减薄值，结合测量试片以及补偿试片的尺寸设计值，计算得到测量试片的实时厚度；第二厚度减薄值模块，其用于依据实时厚度以及测量试片的厚度设计值，计算得到进行补偿后测量试片的第二厚度减薄值。本实用新型能够通过连续不间断补偿，消除测量试片腐蚀减薄量与电阻值变化量之间近似线性关系中的误差影响，使补偿后的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210533959 U
(45)授权公告日
2020.05.15
(21)申请号 20192
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