硅片流水线收集装置.pdfVIP

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2023-09-25 发布于四川
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硅片流水线收集装置.pdf

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本实用新型公开了硅片流水线收集装置，涉及硅片加工技术领域。本实用新型包括：输送硅片的工作台(1)，收集硅片的收集箱(2)和控制收集箱(2)上下方向运动的气缸(3)及电机(4)；硅片输送带(201)安装在上台面(101)上，收集箱输送带(202)安装在下台面(102)上，收集箱(2)置于箱架(203)底部的小输送带(207)上；电机(4)通过丝杠(504)连接着收集箱(2)，收集箱(2)内置多个收纳层(212)。本实用新型有益技术效果：可对输送带上全部排开的硅片进行逐片收集，进行整箱输送；收纳层将

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210525529 U (45)授权公告日 2020.05.15 (21)申请号 20192