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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种 日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方
法
专利类型：发明专利
发明人：陆海,周东,渠凯
申请号：CN201810904 899.8
申请日
公开号：CN10914 8639A
公开日
摘要：本发明专利公布了一种 日盲紫外探测器结构、制备方法及性能测试方法 ，结构包括Ni/Au
电极、A lGaN有源层、低温A lN成核层、高温A lN缓冲层和图形化蓝宝石衬底。日盲紫外探测器制备
方法 ，首先在衬底上生长获得器件低温A lN成核、A lGaN有源层和高温A lN缓冲层的外延结构 ，同时
在A lGaN有源层上蒸镀Ni/Au电极 ，用来表征半透明电极的透过率和电阻率 ，T i/Au电极作为接触电
极 ，最后 ，整个器件快速热退火。性能测试方法包括 ：通过显微镜观察探测器表面是否存在裂纹 ，若
无裂纹则说明探测器质量达到要求。本发明益处在于 ：与无退火的 日盲紫外探测器相比 ，性能变得更
加稳定 ；采用高温A lN缓冲层技术可以获得极低暗电流 ；采用图形化蓝宝石衬底具有更好的量子效
率。
申请人：镇江镓芯光电科技有限公司
地 ：2124 15 江苏省镇江市句容市宝华镇仙林东路9号双创大厦4 12
国籍：CN
代理机构：南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：任立
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