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本实用新型公开了一种半导体检测探针平台,包括侧板、探针台、底座和载物托盘,所述底座的顶部表面固定有第一导轨,所述第一导轨背离底座的一端与探针台连接固定,所述探针台的上表面固定有探针固定块,所述侧板的顶部表面固定有托架,所述托架的上表面固定有气缸,所述气缸通过连接板与第二导轨连接固定,所述第二导轨上固定有显微镜,所述探针台的一端焊接有螺纹柱,所述螺纹柱的底端焊接有从动轮,所述底座的上表面固定有手摇轮,所述手摇轮的底端焊接有主动轮,所述底座的底端表面固定有变速轮,所述底座的上表面固定有载物托盘。本实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210534002 U
(45)授权公告日
2020.05.15
(21)申请号 20192
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