刻蚀机用硅电极及硅环.pdfVIP

国家标准 《刻蚀机用硅电极及硅环》 编制说明 （送审稿） 一、 工作简况 1、立项目的与意义 刻蚀用硅部件包括硅环和硅电极，主要用于 8-12 英寸（即 200mm-300mm）等离子刻 蚀机上。在集成电路制造过程中，高纯硅部件和晶圆均为硅材料，使得刻蚀电学性能更加 均匀，因此硅部件制品广泛用于半导体刻蚀机中。硅部件制品周期性消耗，成为晶圆加工 过程的重要零部件耗材，直接影响晶圆的电学性能，比如一个硅环在加工约200 片晶圆后 就需要更换。硅部件制品市场需求主要受芯片厂晶圆加工能力驱动，按全球目前晶圆生产 情况，全球年需求 8 寸硅环和硅电极数量分别约 30 万片和 7 万多片，12 寸硅环和硅电极 数量分别约 50 万片和 10 万片，市场规模总计约 40 亿人民币。本项目规定的硅电极及硅 环是刻蚀设备上使用的关键耗材之一，为当今世界争先发展的高新技术产品，对集成电路 的生产过程稳定和质量保证有重要的影响。因此，推进硅电极及硅环标准，自主生产硅材 料制品符合集成电路行业装备国产化发展和集成电路产业竞争力提升的需要。 2、任务来源 根据 《国家标准化管理委员会关于下达2019 年第四批推荐性国家标准计划的通知》 （国标委发[2019]