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一种用于硅锭的多晶铸锭炉的热交换系统及其使用方法.pdfVIP

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  • 2023-09-27 发布于四川
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一种用于硅锭的多晶铸锭炉的热交换系统及其使用方法.pdf

    本发明属于多晶硅加工技术领域，具体为一种用于硅锭的多晶铸锭炉的热交换系统及其使用方法，包括炉体，所述炉体的内腔底部安装有底板以及驱动底板上下移动的升降装置，所述底板的上侧安装有隔热板，所述隔热板的上方安装有支撑架，所述支撑架的上方安装有坩埚，所述坩埚的外侧套设有隔热笼，所述隔热笼的下侧与隔热板贴合，所述炉体的内腔顶部安装有驱动隔热笼上下移动的动力装置，所述炉体的本体上开设有环形换热槽，所述支撑架的下方安装有热交换台，本装置冷却液从热交换台的下方导入热交换台的散热腔，然后从散热腔的上端排出，冷却液

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114959890 A (43)申请公布日 2022.08.30 (21)申请号 202210693892.2 (22)申请日 2022.06.19 (71)申请人 扬州晶樱光电科技有限公司 地址 2

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