膜片型光纤法珀腔传感器制备装置.pdfVIP

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2023-09-27 发布于四川
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膜片型光纤法珀腔传感器制备装置.pdf

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本实用新型涉及一种膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，包括腐蚀部件、可升降夹具、控制部件、压力舱、加压部件、压力测量部件和腔长测量部件；所述腐蚀部件内盛装腐蚀液，用于减薄膜片型光纤法珀腔传感器预制体的膜片厚度；所述可升降夹具用于固定所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体；所述控制部件用于控制所述可升降夹具的升降，所述压力舱为密闭空间，所述腐蚀部件和所述可升降夹具均置于所述压力舱内，所述加压部件与所述压力舱连接，所述压力测量部件用于测量所述压力舱内的气压大小；所述腔长测量部件用于测量所述膜片型光纤法珀腔传感

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210571138 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192