一种真空度传感器.pdfVIP

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2023-09-27 发布于四川
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一种真空度传感器.pdf

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本实用新型提供了一种真空度传感器，其包括外壳、用于获取大气压力信号的第一压力芯片和用于获取真空助力器的真空腔内压力信号的第二压力芯片所述外壳内部设有空腔，所述第一压力芯片和所述第二压力芯片均设置于所述空腔内，所述第一压力芯片和所述第二压力芯片将所述空腔内分隔为彼此相互独立的第一腔室、绝对真空腔和第二腔室，所述绝对真空腔位于所述第一压力芯片和所述第二压力芯片之间，所述第一腔室用于连通大气，所述第二腔室用于和真空助力器的真空腔相连通。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210554766 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192