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一种用于衬底背面引出的深沟槽隔离及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-09-27 发布于四川
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一种用于衬底背面引出的深沟槽隔离及其制备方法.pdf

    本发明公开的一种用于衬底背面引出的深沟槽隔离，包括衬底和位于衬底中的深沟槽，其中，所述深沟槽位于所述衬底背面，所述深沟槽中依次形成有填充层Ⅰ和填充层Ⅱ，且所述填充层Ⅰ的消光系数大于填充层Ⅱ；所述衬底中的信号通过所述深沟槽周围的掺杂衬底进行引出。本发明提供的一种用于衬底背面引出的深沟槽隔离及其制备方法，在深沟槽中依次沉积消光系数较大的填充层Ⅰ，和消光系数较小的填充层Ⅱ，在激光退火过程中，既能避免深沟槽隔离下面的器件或金属受到激光光强的影响，又能避免由于吸光造成的在深沟槽隔离两侧的N型掺杂和P型掺杂

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111029294 A (43)申请公布日 2020.04.17 (21)申请号 20191

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