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本实用新型公开了一种同光源双振镜皮秒激光振镜设备，包括机架、大理石基座、配电柜、控制系统、显示系统、门控机构、外罩组件、真空发生器、真空吸附系统、XYZ轴移动系统，激光器、光路集成、振镜、远心可变聚焦镜；大理石基座由底座、立座、顶座一体组成，上依次设置有设置有Y轴移动系统，X轴移动系统，两个Z轴移动系统、真空吸附系统；远心可变聚焦镜与振镜为同轴心安装；轴心之间的距离相一致；激光器为皮秒级别的激光发生装置。本实用新型同光源保障了产品质量一致性；大理石基座采取一体式结构，通过振镜配合远心可变聚焦镜实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210548911 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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