改善原子层沉积膜厚均匀度的方法和用于承载晶圆的晶舟.pdfVIP

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2023-09-27 发布于四川
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改善原子层沉积膜厚均匀度的方法和用于承载晶圆的晶舟.pdf

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本发明提供一种改善原子层沉积膜厚均匀度的方法、电容器的制造方法、用于承载晶圆的晶舟及原子层沉积炉管，其中改善原子层沉积膜厚均匀度的方法，包括：提供用于承载晶圆的晶舟，包括将顶部稳流件可抽取式地插入第一凹槽，以在顶盖与晶圆之间形成阻挡；将底部稳流件可抽取式插入第二凹槽，以在底座和晶圆之间形成阻挡；装载多个晶圆在装载架中，包括将多个晶圆中的每一个可抽取式插入第三凹槽；进行原子层沉积工艺，包括由原子层沉积炉管的气体注射器排入制程气体，经由所述晶舟沉积于多个晶圆以形成薄膜，顶部稳流件和底部稳流件改善制程

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108624867 A (43)申请公布日 2018.10.09 (21)申请号 20181