一种离子流密度测量仪及测量系统.pdfVIP

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  • 2023-09-28 发布于四川
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本实用新型公开了一种离子流密度测量仪及测量系统,所述测量仪包括离子流平板探头和纳安计,所述离子流平板探头和所述纳安计之间电连接;所述离子流平板探头包括用于接地的金属平板、用于采集离子流的采集板和用于平衡所述采集板的环状保护环,所述保护环设置在所述金属平板上,且与所述金属平板电连接,所述采集板为边长1米的正方形,所述采集板与所述金属平板平行且绝缘地设置在所述金属平板上,且四周均与所述保护环的内侧留有间隙地设于所述保护环的内部。所述测量系统包括多个离子流密度测量仪及与之连接的现场监控装置,本实用新型

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210572505 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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