一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置.pdfVIP

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  • 2023-09-28 发布于四川
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一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置.pdf

一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置,涉及人工晶体领域,本实用新型在每个吹气管(4)的进气端分别设置节流阀(2),可以对不同结晶温度的拉制孔实现吹气量的调节,这样可以保证每个结晶区的结晶温度一致,进而实现多根硅芯的同时拉制,有效的保证了硅芯质量等,硅芯的快速均匀冷却可以提高晶体的拉制速度、增加所拉制的硅芯的直径,而硅芯直径的加大,又使其后期在还原炉内的生长速度加快,由此提高了生产效率等,本实用新型具有结构简单,使用效果好等优点,适合大范围的推广和应用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210560875 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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