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- 2023-09-28 发布于四川
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本实用新型提供一种晶圆共用背检平台。所述晶圆共用背检平台底座；显微镜，所述显微镜设置于所述底座的上方；共用圆盘，所述共用圆盘设置于所述底座的上方，所述共用圆盘的一侧开设有辅助槽，并且共用圆盘的顶部设置有防护板，所述共用圆盘、所述辅助槽和所述防护板之间形成一个共用平台，共用平台适用于8吋和12吋晶圆的检测，所述辅助槽内部与所述底座的侧面之间相互连通。本实用新型提供的晶圆共用背检平台具有采用共用平台，共用治具进行背面检查时，不需要在更换单独平台，和操作显微镜机台，提升公司设备使用效率，共用治具进行背
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210571916 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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