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全自动PE装卸片机.pdfVIP

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  • 2023-09-28 发布于四川
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全自动PE装卸片机.pdf

    本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动PE装卸片机。该装卸片机包括机架、Z轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构一、X轴直线驱动机构、Y轴直线驱动机构二、连接平台、宽度调节机构、夹爪、旋转马达、吸盘组、定位台、花篮、石英舟和输送台，所述机架的顶板上固定有Z轴直线驱动机构和X轴直线驱动机构，Z轴直线驱动机构的滑座固定在Y轴直线驱动机构一的缸体上，Y轴直线驱动机构一的缸体滑配连接在机架的顶板上。本实用新型通过Z轴直线驱动机构和Y轴直线驱动机构一驱使夹爪将石英舟搬运到输送台上，输送台将石英舟传送至吸盘

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210557878 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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