光刻机搬运桥架系统.pdfVIP

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2023-09-29 发布于四川
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光刻机搬运桥架系统.pdf

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本实用新型公开了一种光刻机搬运桥架系统，包括至少一个倾斜设置的支撑架，与支撑架最低端对接并具有相同斜角的楔形延伸板，以及铺设在支撑架及延伸板上表面的支撑钢板；支撑架的最低端通过锁扣与延伸板锁紧连接，支撑架的最高端通过锁扣与用于垫高并支撑包装箱体的垫块锁紧连接，设备本体位于包装箱体内；支撑架通过调节为不同高度的调节支座设置为倾斜状态；支撑钢板的两侧设置由限位板。该实用新型通过设置倾斜角度可调节并可任意组合的支撑架并配合延伸板及表面铺设的具有限位板的支撑钢板，即可利用具有倾角的搬运桥架系统轻松将光刻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210558165 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192