用于系统维护期间储存和组织MCA特征和晶片传送销的设计.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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用于系统维护期间储存和组织MCA特征和晶片传送销的设计.pdf

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本发明涉及用于系统维护期间储存和组织MCA特征和晶片传送销的设计。一种用于储存衬底处理系统的最小接触面积(MCA)部件的托盘包括第一隔室，所述第一隔室包括第一多个孔和第一升降销托盘中的至少一个。所述第一升降销托盘包括被配置为保持所述衬底处理系统的升降销的多个槽。所述第一多个孔被配置为接收所述衬底处理系统的MCA销。第一杯邻近所述第一隔室布置。所述第一杯包括至少部分地围绕所述第一杯的壁，所述壁将所述第一杯与所述第一隔室分开，并且所述壁的上边缘在所述第一隔室的底表面上方延伸。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107644832 A (43)申请公布日 2018.01.30 (21)申请号 20171