一种具有负压保护功能的晶圆输送装置.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种具有负压保护功能的晶圆输送装置.pdf

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本发明公开了一种具有负压保护功能的晶圆输送装置，包括常压传输腔体、机械手及负压发生组件，所述机械手设于常压传输腔体中，还包括负压管路和保护管路，所述负压管路的输入端与负压发生组件连通，输出端与机械手连通，所述保护管路一端与负压管路连通，另一端与常压传输腔体连通，所述保护管路上设有负压保护器，用以保证负压管路内负压不超过晶圆能承受的最大负压。本发明具有结构简单，能够实现负压保护，能避免损坏晶圆的优点。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116825697 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310877844.3 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研