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提供一种纵式热处理装置和纵式热处理装置的运转方法。在利用基板搬送机构将被从反应容器搬出的基板保持器具保持的热处理后的基板取出时，实现生产率的提高。在将多个晶圆以棚架状保持于作为基板保持器具的晶圆舟来搬入反应容器内进行热处理的纵式热处理装置中，在热处理后从冷却气体喷吹机构向被从所述反应容器搬出的晶圆舟喷吹冷却气体，并且利用翘曲检测部对被晶圆舟保持的晶圆检测翘曲。然后，利用晶圆搬送机构将被判定为没有翘曲的晶圆从晶圆舟取出。因此，能够对由于热处理而产生翘曲且翘曲随着温度的下降而收敛的晶圆检测其翘曲的收
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108573902 A
(43)申请公布日
2018.09.25
(21)申请号 20181
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