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基于来自在基于分光单元(4)的入射光的色散方向上排列的光电转换元件(5)的多个像素的信号,测定入射光的波长。在波长偏移的校正时,计算测定来自波长偏移校正用光源(10)的入射光的亮线波长时的测定值与本来的亮线波长之差即波长偏移测定量,该波长偏移校正用光源放射包含能够由分光单元(4)色散的波长区域中的至少一个波长的亮线的光。通过利用将波长或者与波长相关的参数作为变量且1次式以上的多项式表示产生的波长偏移的特性的多项式,计算亮线波长偏移基准量。根据计算出的亮线波长偏移测定量和亮线波长偏移基准量,决定多
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116829913 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202280010130.6 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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