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本发明实施例提供一种光罩黑缺陷修补方法，包括：确定待修补光罩上完整包含黑缺陷的待修补区域以及待修补区域在待修补光罩中的位置坐标；根据位置坐标在待修补光罩的原始设计图形中截取出与待修补区域相对应的局部参照图形，将局部参照图形转化为光刻机可识别的可用图形后导入光刻机；将待修补光罩依次进行清洗和涂光刻胶处理后放入光刻机；控制光刻机根据预先输入的位置坐标确定待修补光罩上的待修补区域，并依据可用图形对待修补区域进行定点局部曝光；以及对完成定点局部曝光的待修补光罩依次进行显影、蚀刻、脱模和清洗，即获得修补完
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116819886 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310807868.1
(22)申请日 2023.07.03
(71)申请人 南京科利德光电材料有限公司
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