多振镜扫描系统、多振镜扫描方法以及激光扫描显微镜.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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多振镜扫描系统、多振镜扫描方法以及激光扫描显微镜.pdf

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本发明提供了一种多振镜扫描系统、多振镜扫描方法以及激光扫描显微镜，其能够实现稳定大视场和均匀高亮度的光切成像。该多振镜扫描系统包括第一扫描振镜、第二扫描振镜以及补偿振镜。该第一扫描振镜包括第一振镜镜片和与该第一振镜镜片驱动连接的第一驱动机构。该第二扫描振镜包括第二振镜镜片和与该第二振镜镜片驱动连接的第二驱动机构。该补偿振镜包括位于该第一振镜镜片和该第二振镜镜片之间光路中的补偿振镜镜片和与该补偿振镜镜片驱动连接的补偿驱动机构；该补偿振镜镜片的转动中心与该第一振镜镜片的转动中心沿着第一方向排布，并且

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116819762 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310800324.2 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人宁波舜宇仪器有限公司地址 31