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一种氦气回收净化装置，其包括依次设置于氦气回收净化管路上的第一循环风机、第二循环风机、吸收系统、第一压缩机、干燥系统、膜分离系统、第二压缩机和低温吸附系统，第一循环风机用于将各工段排放的污氦气送入吸收系统，吸收系统用于对污氦气进行脱氯处理，第一压缩机用于将脱氯处理后的污氦气压缩并将其输送至干燥系统进行脱水处理，膜分离系统用于对脱水处理后的污氦气去除杂质气体，第二压缩机用于将去除杂质气体后的污氦气进一步压缩并将其输送至低温吸附系统对污氦气进行深度纯化处理。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210559394 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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