一种微机械振子、F-P腔及微机械振子的制备方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种微机械振子、F-P腔及微机械振子的制备方法.pdf

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本发明提供一种微机械振子、F‑P腔及微机械振子的制备方法，机械振子包括：声子晶体结构、质量块及悬浮梁；所述声子晶体结构为具有缺陷的周期性结构，所述质量块位于所述缺陷的中间，通过悬浮梁与声子晶体结构连接，以将声子晶体结构作为外框架；当机械波在微机械振子上传播时，所述声子晶体结构内的缺陷会抑制驻波传播，保证微机械振子的机械品质因子。本发明基于声子晶体结构设计的MEMS微弹簧振子，能够有效提高器件的机械品质因子，大大降低器件的机械热噪声，且本发明提供的微机械振子可以应用于光学F‑P腔加速度传感器，由于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116812855 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310656334.3 (22)申请日 2023.06.02 (71)申请人华中科技大学地址 430074