声波谐振滤波器及其制备方法、电子设备.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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声波谐振滤波器及其制备方法、电子设备.pdf

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本发明涉及一种声波谐振滤波器及其制备方法、电子设备。声波谐振滤波器包括基底、第二电极、压电层和第一电极；第二电极与基底键合相接，压电层位于第二电极的背向基底的一侧，第一电极位于压电层的背向第二电极的一侧；基底上朝向第二电极和压电层的一侧形成有凹区；压电层分别与第一电极和第二电极电连接。本发明的声波谐振滤波器中，压电层上没有用于进行牺牲层工艺的开孔，压电层的与凹区对应的区域为无孔结构形状，可以使声波谐振滤波器制备过程中的良品率较高，保证声波谐振滤波器的性能；压电层的形状结构完整，具有较高的结构可靠

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116827294 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202210267766.0 H03H 9/17 (2006.01)