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本发明涉及等离子体三维诊断技术领域，具体涉及一种材料表面处理工艺过程中的等离子体三维信息诊断系统；包括计算机、第一平面反射镜、聚焦透镜、入射狭缝、第二平面反射镜、第一球面反射镜、凸面光栅、第二球面聚焦镜和面阵探测器，本发明采用平面反射镜旋转扫描采集及Offner成像光谱诊断系统相结合，通过扫描第一平面反射镜实现不同区域的等离子体信号的采集，扫描过程简单、迅速。通过Offner成像光谱诊断系统实现对所采集信息的分光、探测，最终实现对腔体内的等离子体三维信息的诊断。该系统可以在表面处理腔体外实现对腔
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107421639 A
(43)申请公布日
2017.12.01
(21)申请号 20171
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