一种真空蒸镀成膜装置.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种真空蒸镀成膜装置.pdf

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本发明提供一种真空蒸镀成膜装置，涉及真空蒸镀领域，包括：蒸镀成膜组件；所述真空组件安装在蒸镀成膜组件的顶部；所述密封组件安装在蒸镀成膜组件上；所述支撑组件安装在蒸镀成膜组件的内部；所述定位组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述挡料组件安装在支撑组件的内部；所述驱动组件安装在蒸镀成膜组件的左侧；所述蒸镀成膜壳体整体为长方体结构；所述U型加热丝共设有三个，且三个U型加热丝固定安装在蒸镀成膜壳体的内部；本发明当电机工作时透气支撑罩间歇转动，使得透气支撑罩内部的工件发生转动，便于对工件的不同位置蒸镀；解决了

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815127 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310564907.X (22)申请日 2023.05.19 (71)申请人昆山三凯光电科技有限公司地址