一种半导体设备粉尘去除装置.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种半导体设备粉尘去除装置.pdf

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本实用新型公开了一种半导体设备粉尘去除装置，包括吸尘体、导气管和蓄水箱，所述吸尘体包括吸收管、塑料管和手动拉伸杆，所述塑料管的内腔中安装有风机，其外侧壁的顶部固定粘接有垫块，所述垫块上设有与之传动连接的调向轴，所述手动拉伸杆的侧壁与调向轴的外壁固定粘接，所述塑料管远离吸收管的一侧与导气管的一端固定粘接，所述蓄水箱的内腔中竖直设置有伸入管，其内腔中盛有自来水。该半导体设备粉尘去除装置，通过设置了蓄水箱、进液管、伸入管和自来水，通过进液管将自来水加入蓄水箱内，当空气带着粉尘并排入蓄水箱时，空气中的粉

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210543993 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192