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本发明公开了一种带切割降温结构的晶圆切割机，包括有作为基础的控制调节结构，所述控制调节结构两侧设有对吸尘输送冷结构，所述控制调节结构包括有对切割冷却组件安装设置的控制驱动组件，且控制驱动组件包括表面带控制面板的控制箱，且控制箱上设有方便通过电机对滚珠丝杆驱动调节的半框，同时滚珠丝杆表面贯穿设有驱动调节的滚珠螺母，依次滚珠螺母一侧带通槽结构的调节件，所述调节件一端通过连接销和安装板与半框之间活动设置，且调节件另一端同样通过连接销和安装板与另一滚珠螺母表面上方活动设置，该一种带切割降温结构的晶圆切割
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116811046 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310904508.3
(22)申请日 2023.07.24
(71)申请人 广西华芯振邦半导
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