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描述了一种用于影响沿着光轴(A)传播的带电粒子束(11)的方法。所述方法包括：引导带电粒子束(11)穿过多极装置(100、200)的至少一个开口(102)，多极装置包括布置在同一剖面中的具有四个或更多个第一电极(111、211)的第一多极(110、210)和具有四个或更多个第二电极(121、221)的第二多极(120、220)，第一电极和第二电极围绕至少一个开口(102)交替地布置；以及以下步骤中的至少一者：激发第一多极以提供用于以第一方式影响带电粒子束的第一场分布，以及激发第二多极以提供用于以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116830235 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202280012661.9 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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