一种MEMS流量传感器的可靠性检测方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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一种MEMS流量传感器的可靠性检测方法.pdf

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本发明公开了一种MEMS流量传感器的可靠性检测方法，包括如下步骤：对传感器进行电压和温度应力条件下老化测试的加速试验；提取出加速试验老化模型；利用Arrhenius模型根据特征参数和数学模型计算得到上述应力实验条件下的寿命数据；运用3D建模软件建立有限元仿真模型，根据使用工况和加速试验工况的实际需求，对有限元仿真模型进行电压和温度应力仿真；进行疲劳仿真，并将实际实验情况下得到的应力‑寿命数据导入疲劳仿真模型，最终得到传感器的应力‑寿命曲线；检验该有限元仿真模型的可靠度。本发明所公开的方法在缩短试

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116818054 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310792566.1 G06F 119/14 (2020.01) (22)申请日 2023.06