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- 2023-10-01 发布于四川
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本实用新型提供一种硅麦克风，其利用隔板将所述容纳腔分隔为第一腔及第二腔，并通过通道将所述MEMS传感器的后室与第二腔或第一腔连通，扩大了MEMS传感器的后室的容积，即后室的空气容积增大，自进音孔进入的声波更容易推动MEMS传感器的振膜运动，从而提高硅麦克风的灵敏度及信噪比，同时还能够提高硅麦克风的频响性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210579224 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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