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显影装置.pdfVIP

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  • 2023-10-01 发布于四川
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显影装置.pdf

    本实用新型涉及一种显影装置，包括晶圆载台、喷涂模块和第一旋转电机，所述晶圆载台用于承载待显影的晶圆，并带动所述晶圆转动；所述喷涂模块包括液体涂布单元和气体吹扫单元；所述第一旋转电机的旋转轴与所述气体吹扫单元固定连接，用于带动所述气体吹扫单元转动，所述第一旋转电机的转动方向包括顺时针方向和逆时针方向。通过改变所述第一旋转电机的转动方向，可以使所述晶圆载台和气体吹扫单元相对反向转动，从而实现比一个旋转电机更快的相对旋转角速度，对晶圆表面进行更快的吹扫，避免了晶圆表面部分区域由于吹扫速度过慢，液体挥发

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210573195 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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