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静电吸盘.pdfVIP

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  • 2023-10-01 发布于四川
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静电吸盘.pdf

    一种静电吸盘，包括：主体，主体包括中间区域和环绕中间区域的边缘区域；位于主体的中间区域中的第一电极和位于主体的边缘区域中的第二电极，第一电极上施加有第一直流电压，第二电极上施加有第二直流电压；控制检测单元，通过检测静电吸盘上的待吸附晶圆的状态控制所述第一直流电压和所述第二直流电压。通过控制单元检测晶圆的翘曲状态，当边缘向上翘曲的晶圆置于主体上时，控制第一直流电压小于第二直流电压，使得主体边缘区域产生的吸力大于中间区域产生的吸力，当边缘向下翘曲的晶圆置于主体上时，控制第一直流电压大于第二直流电压，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210575889 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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