一种传感器固晶压胶工艺的压芯工装.pdfVIP

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  • 2023-10-01 发布于四川
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一种传感器固晶压胶工艺的压芯工装.pdf

一种传感器固晶压胶工艺的压芯工装,压芯工装的一端为压芯端,另一端为手持端,在所述压芯端的轴中心位置设置有环形压胶头,环形压胶头的内径大于芯片硅杯边长,环形压胶头的外径小于等于芯片端面的边长;在压芯端的外周设有环形限位外沿,环形限位外沿的内径与传感器基座外径相匹配;环形压胶头的高度h=H‑[d+(0.18~0.22mm)],其中H为基座表压孔上端面到传感器基座上端面距离,d为芯片高度。本实用新型提供了一种传感器固晶压胶工艺,在表压压力传感器的生产过程中,对芯片进行封胶固定,该工艺可以同时满足不碰触

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210575863 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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