一种高压射频PIN管.pdfVIP

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  • 2023-10-01 发布于四川
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本实用新型公开了半导体功率器件技术领域内的一种高压射频PIN管。该种高压射频PIN管包括N型重掺杂衬底,N型重掺杂衬底的上方设有高阻本征层,N型重掺杂衬底的下方设有背面电极金属,高阻本征层的上方设有P型重掺杂层,P型重掺杂层、高阻本征层和部分N型重掺杂衬底形成一个三层的柱形体,N型重掺杂衬底的上方还设有钝化层,钝化层包覆柱形体,钝化层在柱形体上面开设有通孔,在P型重掺杂层上方设有正面电极金属,正面电极金属穿过通孔与P型重掺杂层接触。该种高压射频PIN管能够在较大电压区间工作同时生产成本较低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210575966 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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