基于SOI的级联双环谐振腔光波导传感器研究的中期报告.docxVIP

基于SOI的级联双环谐振腔光波导传感器研究的中期报告 本研究的目标是设计和实现一种基于SOI的级联双环谐振腔光波导传感器，用于检测生物分子和化学物质。在本中期报告中，我们将介绍实验阶段的进展和结果。 首先，我们成功地设计出了级联双环谐振腔光波导传感器的结构，并使用Lumerical软件进行了模拟。通过对模拟结果的分析，我们得出了最优的器件参数和实验条件，并进行了优化。 其次，我们利用SOI材料制备了实验样品，并使用电子束光刻技术制备了级联双环谐振腔光波导传感器的结构。在制备过程中，我们遇到了一些问题，如光刻精度不够和光损耗较大等问题。我们通过不断的测试和调整，解决了这些问题，并获得了较好的实验结果。 最后，我们利用自己制备的样品进行了传感实验，并得到了初步的实验结果。我们对实验数据进行了分析和处理，并得出了一些结论。但是，在确认结论之前，我们需要进一步深入研究和实验。 总之，本研究已经完成了实验阶段的主要工作，并取得了一些成果。下一步，我们将继续进行研究和实验，争取在未来的工作中获得更加丰富和准确的实验结果。