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本实用新型公开了一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，包括真空舱室，所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；本实用新型的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，陶瓷基材外部装载后送入到真空舱室内进行圆周运
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210596247 U
(45)授权公告日
2020.05.22
(21)申请号 20192
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