一种划片机切割水清洗液自动加液装置.pdfVIP

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2023-10-02 发布于四川
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一种划片机切割水清洗液自动加液装置.pdf

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本实用新型公开了一种划片机切割水清洗液自动加液装置，涉及晶圆划片机加液技术领域，旨在解决通过现有技术中的自动喷液装置只能对划片机进行一对一的喷液，效率较低的技术问题，其技术方案要点是箱体内部设置有分隔板，分隔板把箱体分为混液区域和驱动区域；箱体位于混液区域内装有混合液，分隔板上开设有若干供液孔，箱体顶壁位于混液区域处设置有供液口，箱体位于供液口处设置有供液盖；箱体位于驱动区域内设置有若干驱动泵，驱动泵的一端管道连接在供液孔上，箱体位于供液区域的侧壁上设置有若干出液口，驱动泵的另一端连接有出液管，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210589981 U (45)授权公告日 2020.05.22 (21)申请号 20192