一种飞秒激光刻写光纤光栅装置及刻写方法.pdfVIP

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2023-10-04 发布于四川
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一种飞秒激光刻写光纤光栅装置及刻写方法.pdf

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本发明公开了一种飞秒激光刻写光纤光栅装置及刻写方法，包括依次设置形成激光路径的飞秒激光系统、功率监测系统、倍频系统、扩束系统、聚焦系统、运动平台以及成像系统，可以根据功率监测系统的反馈数据判断出激光功率是否出现波动，从而进行动态调节，并且可以对激光功率进行补偿，保证加工过程中激光功率的一致性；结合成像系统反馈的数据可判断加工过程中光纤是否偏离加工位置，从而控制运动平台对加工位置进行调整，提高光栅刻写稳定性和精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116840965 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310917276.5 (22)申请日 2023.07.25 (71)申请人浙江晶耀光电科技有限公司地址