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本发明属于单晶热场工装/部件技术领域，具体涉及一种碳基复合材料/石英复合坩埚。所述坩埚由内层、中间层、外层构成，所述内层的材质为高致密的碳基复合材料，中间层的材质为二氧化硅材质、外层为碳基复合材料。本发明各层之间可以是可分离式结构设计，也可以是一体式结构设计。本发明能大大提高单晶硅拉制过程中坩埚使用寿命，节省出更换石英坩埚的时间，降低石英坩埚的更换成本，降低硅熔体的渗漏风险，提升单晶硅的品质，并且提高单晶硅拉制过程的安全性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116837452 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310804999.4 C30B 29/06 (2006.01)
(22)申请日 2023.07.
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